SOI晶片我国的SOI

2008年12月，上海新傲科技有限公司在自主研发平台上，成功实现了我国历史性的突破，制备出了第一片8英寸键合SOI晶片。这一成就标志着我国在SOI晶片制备技术领域迈出了重要一步。在此之前，该研究团队在国内首条高端硅基集成电路材料SOI晶圆片生产线上的贡献，使我国4至6英寸S